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TS系列交流伺服系統(tǒng)在單晶硅生長爐上的應用
時間:2019-06-11
和利時電機的TS系列交流伺服系統(tǒng),為某單晶硅生長爐生產(chǎn)企業(yè)提供了定制化設計方案,實現(xiàn)了軟軸提拉型單晶硅生長爐提拉過程的精確控制。

     在光伏技術飛速發(fā)展的今天,利用單晶硅所生產(chǎn)的太陽能電池可以直接把太陽能轉化為光能,實現(xiàn)了邁向綠色能源革命的開始。單晶硅是一種非常好的半導材料,用于制造太陽能電池、半導體器件等產(chǎn)品的生產(chǎn)和深加工制造。用單晶硅制成的電子設備已廣泛應用科技、軍事、民用等于各個領域。軟軸提拉型單晶硅生長爐是在惰性氣體環(huán)境中,以石墨電阻加熱器,將一定純度的硅材料熔化,用提拉法生長無位錯單晶硅,其提拉控制的精度與性能直接影響單晶硅生成的數(shù)量和質量。

       和利時電機公司為北京某企業(yè)提供了單晶硅生長爐伺服控制的定制化設計方案,實現(xiàn)了軟軸提拉型單晶硅生長爐提拉過程的精確控制。

       單晶硅生長爐的提拉過程需保證A、B兩軸同步控制,并具備互鎖功能,即A軸報警時B軸立即停止工作,制動器動作鎖住電機。TS系列交流伺服驅動系統(tǒng)通過設置編碼器輸出接口,讓A軸編碼器的輸出信號作為B軸驅動器的輸入信號以此保證A、B兩軸絕對同步;并在程序中設置使能信號長短判斷,當使能信號的脈沖寬度足夠長時,判斷為正常使能信號;當使能信號的脈沖寬度較短時,判斷為給電機的回零位信號,觸發(fā)系統(tǒng)停機,轉手動調節(jié)設備位置。


 

TS系列伺服驅動系統(tǒng)突出特點:

CANopen通信功能:實現(xiàn)了CANopen通訊協(xié)議在伺服系統(tǒng)中的應用,定義了4類標準的通信接口:SDO(服務數(shù)據(jù)對象)、PDO(過程數(shù)據(jù)對象)、NMT(系統(tǒng)管理命令)和特殊對象,實現(xiàn)通信、網(wǎng)絡管理和緊急情況處理等功能,物理介質基于ISO1189標準。

伺服全閉環(huán)控制:針對定位精度或動態(tài)響應高的設備,解決中間環(huán)節(jié)傳動帶來的精度誤差,最終實現(xiàn)高精度、高響應性定位。

高精度定位:配置23位(八百萬線)高精度絕對值碼盤,伺服系統(tǒng)控制精度及整體性能與國外品牌產(chǎn)品發(fā)展同步。

示波器功能:在TS伺服驅動器新增示波器功能,可以通過PC機監(jiān)控特性曲線及修改驅動器參數(shù),方便伺服特性現(xiàn)場調試。